本研究利用化学沉降与活性炭吸附两阶段的处理来解决半导体产业中高浓度含砷废水的问题。　活性炭吸附法中，发现活性炭中的灰份、等电位点、比表面积与孔径分佈对砷酸根离子的吸附有较大的影响。

    灰份较高的煤质活性炭对砷酸根离子有较佳的吸附效果，另外当含砷溶液接触到灰份较高的活性碳，砷酸根离子会与灰份中的金属离子反应，并释放出OH-而使得水溶液pH上升。等电位点的变化方面，当水溶液中有砷酸根离子时会影响活性碳的等电位点，在[As]≒10 mg/L时，活性炭的等电位点分别从8.5(果皮活性炭)、9.3(煤质活性炭)与9.4(椰壳活性炭)降至7.12、7.18与7.12，并会影响到活性炭对砷的吸附效果。比表面积与孔径分佈方面，发现活性炭的吸附砷效果，会受到活性炭表面孔径大小的影响，有越多大孔之活性炭能较快速吸附砷酸根离子，但吸附总量仍以比表面积较高之活性炭较多。

　　活性炭吸附法中，果壳与煤质活性炭的灰分较高、孔隙体积较大对砷酸根离 活性炭吸附法中，果皮与煤质活性炭的灰分较高、孔隙体积较大对砷酸根离子有较佳的吸附效果。另外，当含砷溶液接触到灰分较高的活性炭，砷酸根离子会与灰分中的金属离子反应，并释放出OH-会与灰分中的金属离子反应，并释放出OH-而使得溶液pH值上升。

　　活性炭经吸附铜离子或浸渍浓盐酸处理后，对砷酸根离子有较佳的吸附效果。在批次实验中，两种处理法对椰壳活性炭吸附效果分别增加26% 与14%; 在批次实验中，两种处理法对椰壳活性炭吸附效果分别增加26%与14%; 在管柱实验中，吸附有铜离子之椰壳活性炭则可增加21%的效果。

　　经济评估方面，如以吸附效果最佳之煤质活性炭作为吸附剂，并以两座内含一千公斤活性炭之串联吸附塔作为低浓度含砷废水的处理，每3.5吨废水之处理费用仅需约1千元，在经济考量上颇具实用性。

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