在半导体产业中，活性炭被用得最多的处理硅烷气体的场合，一般把活性炭充填在圆筒型或者方型的容器中使用，最简单的使用方法是把该容器安装在排气流通的管道上使用。

　　上面对半导体产业中使用的机能性活性炭进行了说明。该产业领域的生产技术革新日新月异，所使用的生产气体的种类、数量及使用方法等变化的速度非常快。在水洗涤器方面，存在着随着工厂地理位置的不同而出现的总给水量及废水处理问题;在加热器的燃烧排气处理装置及气体烧嘴燃烧排气处理装置方面，存在着爆炸等安全性问题。为了对应于这些变化，干式排气处理装置应该是有希望的。但具有运转成本高这样一个问题。所以，为了解决这些问题，可以认为今后需要追求越来越便宜的排气处理剂，需要大力地研究开发添载活性炭这种处理剂。

　　再则，最近安全对策也被认为是很大的问题。部分用户提出“活性炭是可燃性物质，由于蓄积吸附反应热等原因，在比较低的温度下就会燃烧，在安全性方面可能有问题”这种意见。实际上，这种事故虽然不多，但好像发生过。

　　但是。在半导体产业中，从活性炭在排气处理装置中已经持续使用了20年以上这一现状来看，一直被认为是一种非常优秀的材料，现在尚未发现马上就能代替它的材料。因此，大多数人的意见是，用硬件与软件两个方面来调整处理速度及处理浓度等方法，以确保安全性才是上策。不用说，确实也正在开发、使用活性炭以外的无机材料，如金属化合物等。它们即使温度升高也不会燃烧。但是。在目前阶段，无论在价格方面还是在性能方面，它们都要比机能性活性炭差得多。

　　再则，在半导体产业中，除了气体之外，使用的有危险性的化学药品等也很多。可是，它们也是用硬件以及软件两个方面来解决并使用着，未形成特别重大的问题。总之，只要构筑起适应其特性的硬件、软件及包括教育在内的运用体系并克服弱点的话，就能够有效地利用活性炭的优点，除此以外别无他法。反过来说，可以说活性炭是相当好的一种材料。最后，希望今后能够不断地改进机能活性炭的缺点，开发出性能更高的廉价制品，以推动活性炭应用的进展。

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